真空檢漏箱是一種用于檢測產品或設備在真空狀態下的泄漏情況的專用設備。在現代工業生產中，特別是在半導體、光電、航空航天、精密儀器等領域，對于產品密封性能的要求非常高，任何微小的泄漏都可能導致產品性能下降甚至失效。因此，真空檢漏箱的應用顯得尤為重要。

一、真空檢漏箱的工作原理

真空檢漏箱的工作原理基于氣體分子在真空狀態下的擴散和滲透特性。當被檢測的產品或設備被放入真空檢漏箱內后，檢漏箱首先會通過抽氣系統將被測空間內的氣體抽出，形成一個接近真空的環境。然后，檢漏箱會向被測空間內注入一定量的示蹤氣體（通常是氦氣），示蹤氣體會通過被測產品或設備的泄漏點進入真空環境。接著，檢漏箱會使用高精度的檢測儀器檢測示蹤氣體的濃度和分布情況，從而確定泄漏點的位置和泄漏量的大小。

二、真空檢漏箱的主要組成部分

真空檢漏箱主要由以下幾個部分組成：

1. 真空腔體：真空腔體是真空檢漏箱的主體部分，用于容納被檢測的產品或設備。真空腔體通常采用不銹鋼等耐腐蝕、高強度的材料制成，以確保在抽真空和注入示蹤氣體過程中不會發生變形或泄漏。
2. 抽氣系統：抽氣系統包括真空泵、真空計和管道等部分，用于將被測空間內的氣體抽出，形成真空環境。真空泵的選擇要根據被測空間的體積和泄漏檢測的要求來確定，以確保在合理的時間內達到所需的真空度。
3. 示蹤氣體注入系統：示蹤氣體注入系統用于向被測空間內注入一定量的示蹤氣體。注入的示蹤氣體量要根據被測產品或設備的泄漏檢測要求來確定，以確保能夠準確地檢測出泄漏點。
4. 檢測儀器：檢測儀器是真空檢漏箱的核心部分，用于檢測示蹤氣體的濃度和分布情況。檢測儀器通常采用質譜儀、氦質譜檢漏儀等高精度儀器，能夠準確地檢測出泄漏點的位置和泄漏量的大小。
5. 控制系統：控制系統用于控制真空檢漏箱的各個部分的工作狀態，確保整個檢測過程的準確性和可靠性。控制系統通常包括電氣控制柜、觸摸屏等部分，方便用戶進行操作和監控。

三、真空檢漏箱的應用領域

真空檢漏箱廣泛應用于以下領域：

1. 半導體制造：在半導體制造過程中，需要對芯片、封裝等部件進行嚴格的密封性能檢測，以確保產品的質量和可靠性。真空檢漏箱是半導體制造過程中的設備之一。
2. 光電產業：光電產品對密封性能的要求也非常高，如LED、LCD等產品的制造過程中都需要使用真空檢漏箱進行泄漏檢測。
3. 航空航天：因為任何微小的泄漏都可能導致嚴重的后果。真空檢漏箱在航空航天領域的應用非常廣泛，如飛機、火箭等產品的泄漏檢測。
4. 精密儀器：精密儀器對密封性能的要求也非常高，因為泄漏會影響儀器的精度和穩定性。真空檢漏箱是精密儀器制造過程中的設備之一。

四、真空檢漏箱的技術參數

規格型號： HE-VL-500 HE-VL-600 HE-VL-800 HE-VL-1000

內箱尺寸(mm)： 500×500×500、 600×600×600、 800×800×800、 1000×1000×1000

水槽尺寸(mm)： 400×400×400、 500×500×500、 700×700×700、 900×900×900

外形尺寸(mm)： 680×670×1410 800×760×1530 1020×970×1720 1260×1560×1750

真空泵： 2XZ-4 XD-40

總功率： 1.5KW 3.0KW

使用電源： AC 單相 三線 220V 50HZ AC 三相 五線 380V 50HZ

真空度范圍： 0～-100KPa

控制方式： 按鍵式控制或PLC觸摸屏控制

結構： 一體式結構（內置真空泵）或分體式（外置真空泵）

內箱材質： SUS304#不銹鋼

外箱材質： SECC鋼板高級烤漆處理

真空檢漏箱是一種重要的工業檢測設備，在現代工業生產中發揮著不可替代的作用。隨著技術的不斷進步和應用領域的不斷拓展，真空檢漏箱的發展前景將更加廣闊。